催化剂在化学工业中占有极其重要的地位。研究表明纳米催化剂能够体现出比传统催化剂高许多倍的催化活性。但是，使用传统方法得到的负载型纳米催化剂，尺寸较难控制，分布较宽，通常只能制备大于 1 nm 的粒子，粒子易团聚，基本上很难再大幅提高催化剂的活性。

与传统催化剂制备方法相比，利用原子层沉积制备的超细纳米催化剂具有尺寸小、分布窄、负载量高度可控、粒子高度分散等诸多优势，因而采用原子层沉积设计新型高效多相纳米催化剂具有广阔的应用前景。然而，目前使用的 ALD 反应器绝大部分是固定式反应器，在制备负载纳米催化剂时，载体处于静置状态，沉积时易产生粘连，因此样品堆积厚度有限，不适用高比表面积的纳米粉体、多孔材料等样品，限制了适用范围、沉积质量、产量和催化剂的效率。本专利提供一种沉积均匀，适合于大规模沉积，高质量和高产量的面向负载纳米催化剂的旋转反应器原子层沉积设备。

授权公告号：CN201420771430